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  • 产品名称: DH2010多功能真空实验仪
  • 真空实验仪是一个真空实验平台。由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成,能够很直观反映真空获得的全过程。

    国家实用新型专利:ZL 2007 2 0107661.X,全国物理实验仪器评比三等奖;

    主要实验内容

        真空的获得与测量、蒸发法薄膜制备;

    主要技术参数

    1、设备的真空室、油扩散泵、真空管路部件全透明;

    2、电气控制有安全防护,防止误操作对人员和设备造成损伤;

    3、采用不锈钢、真空橡胶管结合管路,阀门为电控双向截止阀;

    4、真空室:304不锈钢底盘和玻璃钟罩组成,尺寸:Φ230×260mm

    5、真空测量:数显复合真空计;

    6、衬底温度:室温~200℃(PID控温);

    7、抽气系统:2XZ-4B机械泵+四级玻璃扩散泵,需水冷;

    8、极限真空:9.6×10-4Pa;恢复真空:5×10-3Pa<40分钟;

    9、1组无氧铜电极,蒸发功率:AC10V/150A;衬底加热、烘烤除气;

    10、可镀膜尺寸:Φ70mm

    11、整机功率:3kW;16A插座;

    12、工作电源:AC220V±5,50Hz;

    13、用户需自备或另购冷却水系统。

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